洁净室标准规格说明
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。
表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格
洁净室级数（Class)
微尘粒子 压力 温度 风速与换气率（次/hr) 照度lux
粒子大小um 粒子数目Particles/ft 3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 误差值℃ 最大MAX% 最小MIN% 误差% 层流方式0.35~0.55 m/s
1080
~
1620
1 ≧0.5 ≦1
＞1.3
19.4~25
22.2 ±2.8
特
殊
需
求
±1.4
45 30 ±10
特
殊
需
求
±5
≧5.0 0
10 ≧0.5 ≦10
≧5.0 0
100 ≧0.5 ≦100
≧5.0 ≦1
1000 ≧0.5 ≦1000
乱流方式≧20 次/hr
≧5.0 ≦10
10000 ≧0.5 ≦10000
≧5.0 ≦65
100000 ≧0.5 ≦100000
≧5.0 ≦700
至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。
表1-2 美国联邦标准209E
洁净度等级
微尘粒子
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
5um
单位
单位
单位
单位
单位
公制
英制
(m 3 )
(ft 3 )
(m 3 )
(ft 3 )
(m 3 )
(ft 3 )
(m 3 )
(ft 3 )
(m 3 )
(ft 3 )
M1
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
-
-
M1.5
1
1240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
-
-
M2
3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
-
-
M2.5
10
12400
350
2650
75.0
1060
30.0
353
10.0
-
-
M3
35000
991
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
-
-
M3.5
100
-
-
26500
750
10600
300
3530
100
-
-
M4
-
-
75700
2140
30900
875
10000
283
-
-
M4.5
1000
-
-
-
-
-
-
35300
1000
247
7.00
M5
-
-
-
-
-
-
100000
2830
618
17.5
M5.5
10000
-
-
-
-
-
-
353000
10000
2470
70.0
M6
-
-
-
-
-
-
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
-
-
-
-
-
-
3530000
100000
24700
700
M7
-
-
-
-
-
-
10000000
283000
61800
1750
美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m 3 ）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。
表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准
粒径\级数 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5 Class6 Class7 Class8
0.1 10 1 10 2 10 3 10 4 10 5 10 6 10 7 10 8
0.2 2 24 236 2，360 23，600 - - -
0.3 1 10 101 1，010 10，100 101，000 1，010，000 10，100，000
0.5 - - 35 350 3，500 35，000 350，000 3，500，000
5.0 - - - - 29 290 2，900 29，000
在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*10 3 即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。
表1-4 德国规格表
等级 微尘粒径(um) 与别国等级比较
0.5 1 5 美国 法国
3 4*10 3 1*10 3 - 100 4000
4 4*10 4 1*10 4 0.03*10 4 - -
5 4*10 5 1*10 5 0.03*10 5 10000 400000
6 4*10 6 1*10 6 0.03*10 6 100000 4000000
表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值（个/ ft 3 ）（以0.5u粒子为依准）。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表1-6
表1-5 美国209D规定粒子数（上限值）
等级 Class1 Class10 Class100 Class1000 Class10，000 Class100，000
0.1 35（1，225） 350（12，250 - - - -
0.2 7.5（263） 75（2，630） 750（26，300） - - -
0.3 3（105） 30（1，050） 300（10，500） - - -
0.5 1（35） 10（350） 100（3，500） 1000（35，000） 10，000（350，000） 100，000（3，500，000）
5.0 - - - 7 70 700
*（）内之数值单位：个/M 3 。
表1-6 美日洁净度级别换算
日本 美国
级别3 Class 1
级别4 Class 10
级别5 Class 100
级别6 Class 1000
级别7 Class 10000
级别8 Class 100000
除了美国、日本、德国、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。
表1-6 世界各国洁净度等级规格表
国名 美国 美国 日本 英国 德国 法国 澳洲 韩国 中国大陆
规格 FS209D FS209E JIS B 9920 BS 5295 VDI 2083 AFN 4410 AS 1386 KS QJ2214
年度 1988 1992 1989 1989 1990 1981 1989 1991 1991
基准粒子(um) 0.5 0.5 0.1 0.5 1 0.5 0.5 0.3 0.1 0.5
单位 pcs/ft 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3 pcs/M 3
Class - - 1 - - - - M1 0.1um ~ 1
- M1 2 - 0 - - M10 0.1um ~ 5
1 M1.5 3 C 1 - 0.035 M100 0.1um ~ 10
10 M2.5 4 D 2 - 0.35 M1000 1
100 M3.5 5 E or F 3 4,000 3.5 M10000 100
1000 M4.5 6 G or H 4 - 35 M100,000 1,000
10,000 M5.5 7 I 5 400,000 350 M1,000,000 10,000
100,000 M6.5 8 J 6 4,000,000 3500 M10,000,000 100,000
- M7 - K 7 - - - -
- - - L - - - - -
*以0.5um为区别。