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无尘窒CLEAN ROOM<空气净化技术> |
| 无尘窒CLEAN ROOM(供大家参考)
空气中有许多我们看不到的灰尘和其他粒子。例如,在一个有空调系统的典型办公室内,每立方英尺的空气中含有一百万个以上的粒子,在一般的房子内,灰尘粒子的数目可达一干万至一亿个之多。
在室内灰尘和粒子总是由衣服、纸和其他的东西上产生出来,看不到的粒子亦由人的头发和皮肤上产生出来,因此, 我们是生活在环绕着灰尘和粒子的环境中。
离开陆地很远的海洋上和离地面12,000米以上的大气中, 其粒子的数目最少,但在这两种地方,粒子的数目也高达每立方英尺10,000个以上。
而许多现代化高科技产业及产品,必须在具有乾净空气的乾净空间工作或生产,于是用特殊过滤网将室内灰尘和粒子加以过;虑,精确计算过的通风换气系统,以确保乾净的空间,同时利用空调系统来控制室内的温度、湿度和压力, 因而拥有了一个完全控制的乾净空间一无尘室。 各种细小粒子之大小的比较
粒子大小(MICRON)
※Seiichi Denda(Kyoritsu Shuppan)
无尘室的等级级标准
■ 无尘程度是根据特定的状况来分级
无尘室的无尘程度是以一特定容量的空气中所含尘粒的大小及数目来测量的,在特定状况下以特定容量空气中之尘粒数目来分级的系统称为无尘等级。无尘的规范依国家而不同, 但在大多数地区,国家规范是根据美国联邦标准209D。
■ 工业级无尘室(lCR)有两种标准
在日本,JlS B 9920及美国联邦标准209D被广泛地采用为工业及无尘室的标准,在JlS B 9920中无尘等级是以在一立方米的空气中含有的直径等于(或大于)0.1μm的尘粒数目来订定的,在美国联邦标准209D中,是以一立方尺(1ft3)中所会直径为0.5μm的尘粒来订定的。
■ 生物无尘室(BCR)处理生物性尘粒
生物无尘室控制房间中之生物性尘粒。美国国家太空总书 (NASA)标准NHB-5340.2订定了无尘等级,是以房间中一特定容量空气浮游的生物性尘粒数目,不管其颗粒大小,来计算的(尘粒数月3),这其中包括在特定时间内掉落在特定面积地板上的生物尘粒数(尘粒数/f的〈week)。在日本,不同的组织及机构以根据其应用及目的而订定了他们自己的无机及有机的无尘标准。 尘粒大小分布曲线
■ 横轴上代表尘粒大小的每立方尺含有尘粒数目之上限。
■ JIS B 9920标准无尘等级的浓度上限 (pcs/m3)
粒径
(μm) 无尘等级
class 1 class 2 class 3 class 4 class 5 class 6 class 7 class 8
0.1 101 102 103 104 105 (106) (107) (108)
0.2 2 24 236 2360 23600 ···· ···· ····
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (0.35) (0.3) 35 350 3500 55000 350000 3500000
5.0 ···· ···· ···· ···· 29 290 2900 29000
无尘等级
粒径范围 0.1~0.3 0.1~0.5 0.1~5.0 0.3~5.0
附注 1. 第3A5,6,7和8级相当于美国联邦标准209D(无尘室和控制环境的工作站)相对的第1,100,1000,10000和100000。
2. 浓度的上限代表等于或大于指定颗粒大小的洒度。
3. 浓度的上限是指颗粒大小为0.1μm和0.5μm的量。
4. 在括弧中的数字是指颗粒大小不同民指定大小的量,它们只供评估无尘等级和只当参考用而已。
■ 美国联邦标准209D无尘等级的浓度上限(颗粒数/ft3)
粒径
(μm) 无尘等级
1 10 100 1000 10000 100000
0.1 35
(1236) 35
(12360) NA. NA. NA. NA.
0.2 7.5
(265) 75
(2649) 750
(26486) NA. NA. NA.
0.3 3
(106) 30
(1059) 300
(10594) NA. NA. NA.
0.5 1
(35) 10
(353) 100
(3531) 1000
(35315) 10000
(353147) 100000
(3531470)
5.0 NA. NA. NA. 7
(247) 70
(2472) 700
(24720)
(NA-无资料)， ( ) : 换算成颗粒数pcs/m3
无尘室空调系统之应用项目\无尘室系统 传统的无尘室 水平层流式无尘室 垂直层流式无尘室
空气流动系统
无尘等级 10000~100000 1000~10000 class 100以下
应用弹性 需要较高无尘等级的制程必须直接置于空气入口下方。 需要无尘的制程须置于气流的上方，应用弹性较为有限。 应用弹性极高，因为室内的每一个地方均有最高的无尘等级
运转成本 运转成本低，但无法获得高无尘等级。 运转成本较低，因为空气入口速率比垂直层流系统低。 运转成本最高，因为空气流动速率非常高。
成本指数 30 50 100
建造成本 成本低 成本相当高 成本极高
成本指数 30 60 100
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