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无尘室/洁净室/净化车间,标准规格洁净说明 |
| 无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一） |
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| 目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。 |
表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格
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洁净室级数（Class) |
微尘粒子 |
压力 |
温度 |
风速与换气率（次/hr) |
照度lux |
| 粒子大小um |
粒子数目Particles/ft3 |
mmAg |
值域℃ |
推薦值℃ |
误差值℃ |
最大MAX% |
最小MIN% |
误差% |
层流方式0.35~0.55 m/s
|
1080
~
1620
|
| 1 |
≧0.5 |
≦1
|
＞1.3
|
19.4~25
|
22.2 |
±2.8
特
殊
需
求
±1.4
|
45 |
30 |
±10
特
殊
需
求
±5 |
| ≧5.0 |
0 |
| 10 |
≧0.5 |
≦10
|
| ≧5.0 |
0 |
| 100 |
≧0.5 |
≦100
|
| ≧5.0 |
≦1 |
| 1000 |
≧0.5 |
≦1000
|
乱流方式≧20 次/hr
|
| ≧5.0 |
≦10 |
| 10000 |
≧0.5 |
≦10000
|
| ≧5.0 |
≦65 |
| 100000 |
≧0.5 |
≦100000
|
| ≧5.0 |
≦700 |
| 至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。 |
表1-2 美国联邦标准209E
|
洁净度等级 |
微尘粒子 |
|
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
5um |
|
单位 |
单位 |
单位 |
单位 |
单位 |
|
公制 |
英制 |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
|
M1 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
|
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
|
M2 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
|
M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
|
M3 |
|
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
- |
- |
|
M3.5 |
100 |
- |
- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
- |
- |
|
M4 |
|
- |
- |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
- |
- |
|
M4.5 |
1000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
|
M5 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
M5.5 |
10000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
|
M6 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
|
M6.5 |
100000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
|
M7 |
|
- |
- |
- |
- |
- |
- |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
|
美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。 |
表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准
| 粒径\级数 |
Class1 |
Class2 |
Class3 |
Class4 |
Class5 |
Class6 |
Class7 |
Class8 |
| 0.1 |
101 |
102 |
103 |
104 |
105 |
106 |
107 |
108 |
| 0.2 |
2 |
24 |
236 |
2，360 |
23，600 |
- |
- |
- |
| 0.3 |
1 |
10 |
101 |
1，010 |
10，100 |
101，000 |
1，010，000 |
10，100，000 |
| 0.5 |
- |
- |
35 |
350 |
3，500 |
35，000 |
350，000 |
3，500，000 |
| 5.0 |
- |
- |
- |
- |
29 |
290 |
2，900 |
29，000 |
| 资料来源：Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands |
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