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洁净室无尘室设计要点。

洁净室无尘室设计要点 

1.洁净室无尘室系统
      
室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。

2.
洁净度与换气次数
      
房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。

3.
结构
      
为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。

4.
设计方案
      
要确定设计方案,必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式,洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。

5.
材料
      
作为洁净室顶棚,墙面和地板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒,以及几乎不起尘的材料,另外根据房间不同的工作条件,还必须考虑材料的化学性能是否稳定。

6.
压力和气流
      
为了保证房间的洁净度,必须防止外面污染气流进入室内,要达到这个目的,房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力,必须补充适当的新鲜空气。

7.
辅助设备
      
必要时还得安置一些辅助设备:如新风口的空气指示仪,隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能.

8.
人和物的控制

      
人和物是洁净室的主要尘源,因此必须充分控制,例如:在进入净化房前,所有的人都要经过人净系统,更换无尘衣,并且要接受净化系统功能的基本教育。

9.
给排水和送风装置及电源
      
根据所要运行的车间,提供必须的给排水装置,送风装置和电源,这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计,同时不得有勃于空气净化系统。

洁净室的规划 一般性的规划重点
洁净室的整厂规划(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范围极广,需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划,尽管不少洁净室规划,多需要就于既有的建筑物,然而,为避免失误应尽可能事先确认下列事项:

1. 洁净度等级。

2. 室压之平衡措施。

3. 温湿度要求。

4. 机器设备之必要性。

5. 确定生产流程。

6. 局部排气之必要性。

7. 日后扩充弹性。

8. 足够维护保养空间。

9. 空调送风方式。

10. 员工休息区之安排。

11. 设施与动力之配置。

12. 室内净高与楼板载重。

13. 设备空间与管道间。

14. 门窗宜少,气密性要佳。

15. 静电、振动及噪音。

16. 生产线与活动线少交叉。

17. 公害、污染与防灾。

18. 安装及运转成本之衡量。

洁净室的动线规划
所谓[动线],是指人员、原料之入室路线,与人员与成品的出室路线。规划时,要检讨分析人()路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)

要点:

1 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2
制造装置之出入,需不对作业产生大影响。
3
超洁净室四周,宜设缓冲区(即较差洁净区)

工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表

洁净度
产业别

洁净度(0.5μm,个/ft3)

1

10

100

1000

10000

100000

LSI制造工程

 

 

 

 

 

LSI组立检查工程

 

 

 

 

 

()单结晶

 

 

 

 

 

 

 

照像光罩photo mask

 

 

 

 

光阻涂膜photoresist

 

 

 

 

一般液晶(tn,stn)

 

 

 

 

 

 

 

显示用液晶(tft,mim)

 

 

 

 

 

投影用液晶(tft)

 

 

 

 

 

混合(hybrid)IC

 

 

 

 

 

 

 

印刷基板材料

 

 

 

 

 

 

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