无尘无菌室运转管理指针 ( 方案 )技术交流

无尘无菌室运转管理指针 ( 方案 )

   3. 3. 3. 在 无 尘 室 内 之 注 意 事 项 在 无 尘 室 内 之 作 业 人 员 或 其 他 人 员 之 移 动 或 动 作 均 为 发 尘 源 ， 直 接 影 响 制 程 ( P R O C E S S ) ， 另 会 产 生 间接 影 响 影 制 程 之 气 流 之 扰 乱 。为 防 止 与 控 制 上 述 情 形 ， 作 业 员 须 静 静 而 细 心 注 意 工作 之 进 行 ， 基 本 上 应 注 意 下 列 事 项 ： [ 1 ] 为 防 止 产 生 影 响 制 程 之 气 流 之 扰 乱 不 可 在 作 业 区 域 气 流 之 上 方 放 置 物 品 或 做 其 他 作 业 。 [ 2 ] 不 必 要 之 动 作 ( 作 业 外 之 动 作 ) 尽 量 避 免 以 防 止 乱 流 及 发 尘 。 [ 3 ] 私 人 谈 话 ( 与 作 业 无 关 之 谈 话 ) 尽 量 避 免 。 [ 4 ] 为 尽 力 控 制 发 尘 量 ， 步 行 及 作 业 要 静 静 地 进 行 。 [ 5 ] 作 业 要 在 清 凈 之 作 业 台 或 在 其 上 方 进 行 ， 有 污 染 之 虑 或 掉 在 地 上 之 物 品 不 要 使 用 。[ 6 ] 无 尘 衣 要 经 常 保 持 正 常 之 着 衣 状 态 。 [ 7 ] 工 具 、 器 具 、 笔 记 用 具 类 为 避 免 发 生 污 染 ， 谨 慎 使 用 ， 不 用 时 须 收 入 有 盖 子 之 箱 或 柜 中 ， 或 一 定 之 放 置 场 所 以 清 凈 之 状 态 保 管 之 。 4. 无 尘 衣 之 管 理4. 1. 无 尘 衣※ C L A S S 3 或 4 要 用 连 身 式 ( 上 下 一 体 之 工 作 服 ) ， 并 带 头 罩 ， 无 尘 室 专 用 布 鞋 加 上 B O O T 及 手 套。※ C L A S S 5 用 无 尘 衣 有 上 下 衣 各 1 件 、 帽 子 、 无 尘 室 专 用 布 鞋 及 鞋 套 、 手 套 。※ C L A S S 6 用 者 有 长 上 衣 、 帽 子 、 专 用 布 鞋 、 手 套 。也 可 穿 用 上 级 清 凈 度 C L A S S 用 之 衣 服 。 4. 1. 1. 布 料 之 必 备 条 件 作 业 后 ， 洗 衣 后 或 施 用 其 他 处 理 后 仍 不 会 变 质 或 发 尘 者 为 基 本 条 件 。 另 者 其 布 料 是 不 易 燃 烧 ， 不 起 毛 ， 其 织 法 或 布 料 之 组 织 不 易 通 过 污 染 物 。 经 过 磨 擦 不 产 生 静 电 或 带 电 性 非 常 小 ， 不 易 附 着 污 染 物 之 布 料 。 综 合 上 述 各 种 特 性 要 缝 制 无 尘 衣 ， 其 布 料 之 必 备 条 件 如 下 ： － [ 1 ] 布 料 本 身 不 会 构 成 发 尘 源 者 ， 织 维 组 织 良 好 不 易 脱 落 ， 不 会 因 材 料 疲 劳 ( 穿 久 ) 而 产 生 织 维 组 织 断 裂 。 [ 2 ] 由 人 体 产 生 之 尘 粒 不 会 透 过 衣 服 内 面 到 外 面 者 ( 亦 即 过 滤 效 果 大 者 ) 。[ 3 ] 尘 粒 子 不 易 附 着 者 。 [ 4 ] 不 易 产 生 静 电 者 。 [ 5 ] 耐 药 品 性 优 者 。 [ 6 ] 对 多 次 洗 衣 及 蒸 汽 灭 菌 等 处 理 有 耐 久 性 者 。 [ 7 ] 洗 条 再 生 使 用 容 易 、 不 易 皱 、 不 必 烫 之 布 料 。 [ 8 ] 着 衣 感 舒 适 者 ( 不 影 响 身 体 之 行 动 ， 有 柔 软 性 ) 。 [ 9 ] 透 明 度 低 者 。 [10] 容 易 缝 制 者 。 4. 1. 2. 缝 制 穿 起 来 不 会 感 觉 不 舒 服 、 易 活 动 ， 最 好 简 单 之 设 计 。 缝 份 愈 少 愈 好 。 使 用 与 布 料 同 质 之 合 成 纤 维 车 线 缝 制 ， 须 采 用 洗 衣 后 不 会 断 线 、 不 起 毛 之 缝 制 方 法 为 原 则 。 4. 1. 3. 头 罩 与 帽 子 [ 1 ] 头 罩 ( a ) 在 C L A S S 3 或 C L A S S 4 之 无 尘 室 须 用 头 罩 ， 祇 露 出 眼 睛 或 脸 表 面 部 分 ，其 他 部 分 均 须 包 覆 者 。 ( b ) 在 颈 部 部 份 连 接 上 衣 处 须 完 全 覆 盖 不 能 留 空 隙 。 [ 2 ] 帽 子 ( a ) 在 C L A S S 5 或 C L A S S 6 之 无 尘 无 菌 室 使 用 ， 如 在 医 院 之 开 刀 房 使 用 之 型 式 者 。 ( b ) 须 全 部 覆 盖 头 发 使 毛 发 不 露 出 来 ( 毛 发 不 能 掉 下 来 ) ， 当 然 尺 寸 要 符 合 且 感 舒 适 为 原 则 。 4. 1. 4. 无 尘 室 用 鞋在 无 尘 室 内 不 能 穿 普 通 一 般 用 之 布 鞋 或 拖 鞋 ， 因 为 会 产 生 污 染 。 无 尘 室 用 鞋 要 合 脚 且 穿 起 来 舒 适 为 基 本 条 件 ， 不 管 是布 鞋 、 胶 套 鞋 或 高 统 鞋 必 须 容 易 洗 涤 ， 故 应 采 用 塑 胶 底 ， 其 他 如 布 则 依 照 4. 1. 1. ( 布 料 之 必 备 条 件 ) 所 示 之条 件 。 高 统 鞋 为 防 止 松 落 在 边 缘 及 足 踝 处 ， 胶 套 鞋 则 在 足 踝处 缝 贴 适 当 幅 度 之 平 板 橡 胶 。高 统 鞋 之 高 度 以 裤 子 之 下 端 能 充 分 收 纳 于 鞋 中 为 原 则 。为 防 止 在 平 滑 之 地 面 滑 倒 须 用 N O N - S L I P之 鞋 底 。 4. 1. 5. 手 套材 料 必 须 用 4. 1. 1. ( 布 料 之 必 备 之 条 件 ) 之 布 料 或 薄 橡 胶或 V I N Y L 制 。使 用 中 会 有 不 快 感 或 妨 害 手 指 之 触 感 者 不 可 以 使 用 。 如 医 院 手 术 用 之 V I N Y L 手 套 有 粉 者 使 用 前 必 须 洗 掉 粉 剂 ( P O W D E R ) 或 用 无 粉 V I N Y L 手 套 。 4. 2. 无 尘 衣 之 管 理 无 尘 衣 必 须 合 乎 各 种 性 能 及 合 乎 各 种 作 业 之 需 要 ， 并 能 发 挥 其 机 能 为 原 则 ， 因 此 在 各 使 用 场 所 制 定 [ 无 尘 衣 管 理 基 准 ] 并 遵 照 此 基 准 管 理 之 。 并 其 管 理 应 由 专 任 人 员 担 当 。 管 理 包 括 新 衣 受 货 验 收 、 洗 涤 及 修 理 都 要 细 心 周 密 行 之 。 无 尘 衣 之 管 理 项 目 大 致 分 为 下 列 七 大 项 ： ? 新 品 及 洗 涤 后 之 验 收 检 查 。? 适 当 之 分 配 使 用 。 ? 穿 、 脱 过 程 之 管 理 。 ? 使 用 状 态 ( 污 染 、 损 坏 等 ) 检 查 、 洗 涤 及 废 弃 时 间 之 决 定 。 … 修 理 。 ? 保 管 。 ? 洗 涤 。 4. 2. 1. 新 品 及 洗 涤 后 之 验 收 检 查 [ 1 ] 数 量 及 尺 寸 之 确 认 。 [ 2 ] 包 装 是 否 依 照 规 定 以 目 视 确 认 。 [ 3 ] 按 照 规 定 之 标 准 做 污 染 粒 子 测 定 ( P A R T I C L E C O U N T ) 。※ J I S 无 尘 衣 污 染 粒 子 测 定 方 法 制 订 中 。 [ 4 ] 验 收 检 查 合 格 之 无 尘 衣 必 须 依 规 定 之 保 管 场 所 由 专 任 人 员 保 管 。 4. 2. 2. 分 配 [ 1 ] 各 种 无 尘 衣 必 须 分 配 给 各 种 合 乎 需 要 之 专 用 人 员 。 [ 2 ] 订 适 当 之 分 配 日 期 ， 最 好 同 一 天 为 原 则 。 [ 3 ] 无 尘 衣 之 使 用 者 ， 除 了 无 尘 衣 管 理 人 员 分 配 之 衣 服 之 外 ， 不 可 使 用 其 他 衣 服 。 [ 4 ] 使 用 者 在 分 配 后 穿 用 之 前 须 遵 照 衣 服 状 态 标 准 检 查 ， 如 有 异 样 须 立 即 向 专 任 管 理 人 员 报 告。 [ 5 ] 使 用 者 在 使 用 中 发 生 显 然 地 污 染 或 破 损 ， 须 立 即 向 专 任 管 理 人 员 报 告 。 管 理 人 员 须 立 即 检 查 并 决 定 是否 继 续 穿 用 、 送 修 或 洗 涤 。 4. 2. 3. 暂 时 保 管 ( 使 用 中 之 保 管 ) [ 1 ] 日 常 工 作 后 之 暂 时 保 管 则 放 置 在 各 作 业 人 员 专 用 之 保 管 场 所 即 可 。 [ 2 ] 暂 时 保 管 位 置 也 应 该 区 分 各 作 业 性 质 及 清 凈 度 标 准 ( C L E A N I N E S S C L A S S ) 不 可 混 放 在 同 一 个 地 方 。 [ 3 ] 暂 时 保 管 时 应 避 免 各 种 无 尘 衣 及 各 部 位 间 之 相 互 接 触 。 4. 2. 4. 污 染 、 损 坏 状 态 之 检 查 、 洗 涤 及 废 弃 时 间 之 决 定 。 [ 1 ] 无 尘 衣 之 换 洗 时 间 ( 洗 涤 后 使 用 至 下 次 洗 涤 之 时 间 ) 应 依 作 业 性 质 规 定 ， 并 遵 守 换 用 时 间 。● 一 般 而 言 ， 无 尘 衣 之 换 洗 时 间 ( 使 用 期 间 ) 在 高清 凈 区 域 为 一 天 ， 其 他 区 域 为 2 ～ 3 天 。 [ 2 ] 无 尘 衣 之 换 洗 时 间 ( 使 用 期 间 ) 应 由 下 列 因 素 来 做 决 定 。 ? 每 天 使 用 前 之 污 染 粒 子 测 定 结 果 。 ? 预 先 订 定 之 经 验 值 。 ? 意 外 之 污 染 。 [ 3 ] 同 一 工 作 场 所 使 用 之 无 尘 衣 最 好 全 部 以 同 一 周 期 洗 涤 ( 同 一 换 洗 时 间 ) 。 [ 4 ] 修 理 及 废 弃 时 间 ， 依 据 所 定 之 标 准 由 专 任 管 理 人 员 决 定 之 。 [ 5 ] 送 修 或 洗 涤 前 之 状 态 检 查 ， 要 在 规 定 之 区 域 或 在 无尘 室 外 面 行 之 。 [ 6 ] 拟 送 修 或 洗 涤 之 无 尘 衣 应 放 在 有 盖 之 专 用 容 器 保 管 。 4. 2. 5. 修 理 [ 1 ] 须 修 理 之 部 份 ， 应 附 修 理 指 示 表 。 [ 2 ] 关 于 修 理 方 法 由 各 使 用 者 根 据 无 尘 衣 管 理 标 准 [ 缝 制 ] 项 目 定 之 。 4. 2. 6. 保 管 [ 1 ] 无 尘 衣 之 保 管 场 所 其 清 凈 度 应 与 使 用 该 衣 之 无 尘 室 所 要 求 之 条 件 同 等 级 。 [ 2 ] 保 管 应 按 衣 服 之 种 类 区 分 并 依 各 使 用 单 位 规 定 之 场 所 行 之 。 [ 3 ] 保 管 应 依 照 使 用 该 衣 之 无 尘 室 清 凈 度 等 级 区 分 行 之 。 4. 2. 7. 洗 涤 在 无 尘 衣 之 管 理 上 ， 洗 涤 仍 占 了 重 要 的 要 素 ， 若 洗 涤 不 当 反 而 会 污 染 衣 服 ， 因 此 洗 涤 方 法 在 管 理 上 成 为 最 重 要 之 项 目 ， 目 前 多 采 用 特 殊 之 洗 涤 方 法 在 无 尘 室 中 施 行 。 洗 涤 要 委 托 专 门 业 者 或 在 自 设 之 无 尘 室 内 行 之 才 可 。 交 付 洗 涤 时 应 注 意 之 事 项 如 下 ： [ 1 ] 洗 涤 前 应 先 检 查 有 无 破 损 ， 掉 钮 扣 ， 或 松 紧 带 等 副 属 品 ， 如 有 缺 陷 应 送 修 、 换 新 或 废 弃 。 [ 2 ] 应 在 比 使 用 该 衣 之 无 尘 室 清 凈 度 等 级 高 一 级 之 无 尘 室 内 洗 涤 、 干 燥 及 包 装 。 [ 3 ] 不 管 是 湿 式 、 干 式 洗 涤 用 之 水 及 溶 剂 均 需 经 过 蒸 馏 并须 经 过 孔 径 0.2μm 以 下 之 薄 膜 过 虑 纲 ， 视 必 要 溶 剂 须 经 过 两 道 以 上 过 滤 始 能 使 用 。 [ 4 ] 先 以 湿 式 洗 涤 法 用 自 来 水 洗 ， 以 除 去 水 溶 性 污 染 物 ，最 后 用 蒸 溜 过 之 溶 剂 洗 衣 油 性 污 染 物 。 [ 5 ] 湿 式 洗 涤 用 之 水 温 ， 条 件 如 下 ： 一 聚 酯 纤 维 ( P O L Y E S T E R F I B E R ) 6 0 ～ 6 7 ℃ ( 最 高 70 ℃ ) 耐 隆 纤 维 ( N Y L O N F I B E R ) 5 0 ～ 5 5 ℃ ( 最 高 6 0 ℃ ) [ 6 ] 若 须 渗 入 防 静 电 化 合 物 时 要 在 最 后 洗 清 时 添 加 。 [ 7 ] 采 用 粘 扣 带 之 无 尘 衣 应 在 粘 扣 之 状 态 下 洗 涤 。 [ 8 ] 干 燥 须 以 洗 涤 专 用 之 无 尘 室 清 凈 空 气 行 之 。 [ 9 ] 干 燥 后 要 在 洗 涤 专 用 之 无 尘 室 内 折 迭 ， 并 收 容 在 干 凈 的 塑 胶 袋 或 耐 隆 布 做 的 袋 中 ， 必 要 时 须 要 双 重 包 装 。5. 无 尘 室 之 管 理5. 1. 1. 一 般 注 意 事 项[ 1 ] 普 通 注 意 事 项 为 保 持 无 尘 室 的 清 凈 度 ， 必 须 经 常 维 持 正 常 的 气 流 状 态 。 因 此 ， 负 责 无 尘 室 操 作 之 专 门 人 员 必 须 经 常 检 查 并 防 止 会 扰 乱 气 流 之 一 切 备 品 、 物 品 等 被 带 进 无 尘 室 内 。 但 作 业 上 必 需 之 物 品 或 设 备 尽 量 维 持 最 少 限 度 ， 并 尽 量 配 置 在 不 会 扰 乱 气 流 之 位 置 为 原 则 。 [ 2 ] 家 俱 等 设 备 用 之 材 料 无 尘 室 内 使 用 之 设 备 材 料 ， 尽 量 使 用 不 会 产 生 尘 粒 之 不 锈 钢 或 有 适 当 之 表 面 处 理 ； 或 用 耐 磨 性 佳 之 钢 品 、 铝 制 品 及 优 良 塑 胶 制 品 等 。 [ 3 ] 构 造 上 述 设 备 等 之 构 造 ， 尽 量 采 用 构 造 简 单 且 与 其 他 物 品 接 触 或 磨 擦 时 不 会 产 生 磨 耗 粉 质 ， 在 各 角 部 份 要 圆 滑 ， 避 免 有 突 出 之 角 。 [ 4 ] 家 俱 等 设 备 之 维 修 必 须 在 无 尘 室 内 用 之 家 俱 等 设 备 必 须 保 持 干 凈 ， 有 必 要 补 修 时 立 即 修 理 ， 经 常 保 持 良 好 状 态 ， 修 理 困 难 者 立 即 废 弃 不 用 而 换 新 。5.1. 2 . 桌 子 不 得 不 用 木 制 者 ， 表 面 须 施 E P O X T 树 脂 加 工 以 防 止 发 尘 。 要 用 简 单 的 桌 子 不 能 有 抽 屉 、 脚 板 ， 及 侧 面 板 等 。 桌 脚 下 端 应 套 上 橡 胶 或 塑 胶 套 。5.1.3. 椅 子 尽 量 采 用 没 有 背 及 脚 踏 板 之 椅 子 ， 椅 脚 之 高 度 以 坐 下 来 脚 适 当 地 接 触 到 地 板 为 原 则 ， 万 一 非 用 高 椅 子 不 可 时 要 准 备 脚 踏 台 。 椅 脚 下 端 应 装 有 塑 胶 制 之 小 轮 子 或 应 套 上 橡 胶 套 。 为 避 免 产 生 尘 粒 尽 量 不 使 用 椅 垫 ( C U S H I O N ) 为 原 则 ， 万 一 不 得 不 用 椅 垫 时 要 用 发 尘 性 少 之 材 料 完 全 封 盖 ， 因 为 椅 垫 容 易 损 伤 而 在 损 伤 之 状 态 下 使 用 易 产 生尘 粒 ， 故 须 特 别 注 意 。5.1. 4. 搬 运 箱 有 关 原 料 、 半 制 品 或 产 品 之 搬 运 箱 及 作 业 上 须 要 之 工 具 箱 均 须 用 特 制 之 专 用 箱 ， 须 附 盖 ， 下 面 装 有 橡 胶 或 塑 胶 者 。 容 易 清 洁 之 构 造 ， 并 须 定 期 检 查 及 清 洁 。 5. 1. 5. 搬 运 车 构 造 简 单 为 原 则 ， 不 要 使 用 可 折 迭 式 。 放 置 物 品 之 表 面 材 料 特 别 采 用 耐 磨 性 高 者 。 车 轮 之 轴 承 必 须 用 充 填 黄 油 密 封 式 滚 珠 轴 承 ， 并 用 耐 磨 性 高 之 橡 胶 轮 胎 。 重 量 轻 并 容 易 清 洁 之 构 造 。 须 做 定 期 检 查 ， 维 修 及 清 洁 。 5. 1. 6. 笔 记 用 品 [ 1 ] 纸 类 要 用 特 别 加 工 ， 发 尘 量 少 ( 或 全 无 ) 之 纸 类 。 如 需 要 带 进 以 一 般 纸 类 印 刷 之 文 件 时 需 要 放 在 透 明 之 塑 胶 袋 中 。 或 有 防 尘 处 理 之 纸 类 印 刷 者 。 铅 笔 、 橡 皮 擦 、 自 来 水 笔 、 蜡 笔 、 普 通 纸 类 均 不 能 带 进 无 尘 室 内 。 笔 记 时 要 用 塑 胶 做 的 原 子 笔 ， 无 尘 纸 或 塑 胶 纸 类 。 5. 1. 7. 告 示 板 、 黑 板 类 普 通 黑 板 及 粉 笔 当 然 不 能 使 用 ， 必 要 时 准 清 凈 室 内 ( 低 一 级 之 清 凈 室 ) 用 白 板 ， F E L T P E N ， 清 凈 室 专 用 之 擦 布 。 告 示 板 要 用 自 立 式 ， 并 附 有 轮 子 可 移 动 式 者 ， 并 放 置在 准 清 凈 室 内 。 告 示 板 之 构 造 为 不 易 聚 积 灰 尘 或 其 他 污 染 物 并 容 易 清 洁 者 。 告 示 用 之 纸 当 然 要 用 如 5. 1. 6. 项 规 定 之 专 用 纸 并 告 示 愈 少 愈 好 佳。 5. 1. 8. 垃 圾 箱 垃 圾 箱 不 能 放 置 在 此 清 凈 度 C L A S S 5 清 洁 之 无 尘 室 内 。 5. 2. 无 室 内 之 制 造 及 有 关 设 备 5. 2. 1. 制 造 及 有 关 设 备 之 选 定 [ 1 ] 要 选 用 发 尘 性 少 之 设 备 ， 尤 其 须 注 意 活 动 部 份 之 发 尘 ， 由 于 制 造 、 处 理 而 产 生 之 粒 子 及 使 用 材 料 。 [ 2 ] 制 造 及 有 关 设 备 之 构 造 容 易 聚 积 灰 尘 粒 子 或 会 散 发 尘 粒 之 构 造 ， 尽 量 避 免 之 。 [ 3 ] 生 产 用 之 水 、 瓦 斯 、 药 品 等 仍 为 污 染 之 原 因 ， 故 应 配 备 过 滤 装 置 。 5. 2. 2. 制 造 及 有 关 设 备 之 配 置 及 装 设 。 [ 1 ] 当 计 划 如 何 配 置 各 种 设 备 时 应 事 先 考 虑 不 易 聚 积 尘 粒 或 污 染 物 质 之 配 置 方 法 ， 并 容 易 清 洁 为 原 则 。 [ 2 ] 如 真 空 泵 等 容 易 产 生 污 染 物 质 之 设 备 ， 应 装 设 在 无 尘 室 外 ， 但 必 须 装 设 在 无 尘 室 内 时 应 有 适 当 的 覆 盖 并 做 局 部 排 气 。 [ 3 ] 当 配 置 瓦 斯 管 、 给 水 管 、 电 气 配 管 等 能 源 供 给 设 备 时 ， 其 构 造 须 考 虑 到 容 易 清 扫 ， 不 易 聚 积 污 染 物 为 要 。 或 考 虑 其 他 方 法 如 设 管 道 间 或 暗 沟 等 。 [ 4 ] 与 制 造 设 备 连 接 之 地 方 也 须 要 慎 密 考 虑 。 如 作 业 台 之 配 线 等 可 利 用 中 空 之 脚 柱 ， 配 线 在 其 中 ， 尽 量 避 免 露 出 在 外 面 而 使 配 管 复 杂 ， 最 好 内 藏 于 有 平 坦 之 表 面 之 包 围 内 。 5. 2. 3. 制 造 及 有 关 设 备 使 用 上 应 注 意 事 项 [ 1 ] 制 造 及 有 关 设 备 ， 有 时 难 免 聚 积 尘 粒 ， 故 要 做 定 期 之 清 洁 。 [ 2 ] 磨 耗 之 机 件 ， 皮 带 等 会 产 生 尘 粒 ， 故 要 做 定 期 更 换。 [ 3 ] 室 内 之 温 湿 度 控 制 ， 尤 其 对 湿 度 之 控 制 要 特 别 注 意 ； 因 空 调 设 备 如 运 转 、 停 机 频 繁 时 设 备 本 身 会 结 露 而 生 锈 ， 因 此 产 生 尘 粒 ， 故 须 特 别 小 心 。 5. 2. 4. 制 造 及 有 关 设 备 之 维 护 [ 1 ] 当 维 护 有 关 设 备 时 其 产 生 之 尘 粒 会 影 响 产 品 ， 故 尽 量 搬 到 无 尘 室 外 修 理 。 [ 2 ] 对 于 修 理 业 者 有 必 要 让 他 们 熟 知 ， 并 遵 守 3. 3. 项 ( 进 出 无 尘 室 人 员 及 在 室 内 应 注 意 事 项 ) 。 [ 3 ] 如 能 在 靠 近 无 尘 室 设 立 一 间 维 护 专 用 之 工 作 房 仍 为 无 尘 室 管 理 上 最 理 想 的 规 划 。 [ 4 ] 在 无 尘 室 内 使 用 之 工 具 原 则 上 要 做 为 无 尘 室 内 专 用 者 ， 除 特 别 理 由 之 外 不 可 带 出 无 尘 室 外 。 5. 3. 无 尘 室 运 转 设 施 无 尘 室 用 之 装 置 、 设 备 、 配 件 等 均 能 维 持 良 好 之 无 尘室 清 凈 度 者 乃 最 重 要 之 条 件 。 5. 3. 1. 过 滤 纲 ( F I L T E R ) [ 1 ] 预 滤 纲 或 称 初 级 过 滤 纲 ( P R E – F I L T E R ) ( a )目 的 － － 预 滤 纲 是 为 延 长 U L P A ( U L T R A L O W P E N E T R A T I O N A I R ) 及 H E P A ( H I G H – E F F I C I E N C Y P A R T I C U L A T E A I R ) 过 滤 纲 之 使 用 寿 命 为 目 的 。 以 过 滤 外 气 中 之 粗 尘 粒 及 室 内 产 生 之 较 大 尘 粒 为 使 命 。 ( b )选 用 － － 随 使 用 环 境 及 使 用 目 的 装 设 中 性 能 或 高 性 能 之 过 滤 纲 组 合 1 段 或 2 段 使 用 之 。 ( c )管 理 － － 装 在 H E P A 或 U L P A F I L T E R 前 之 预 滤 纲 ， 每 个 月 1 次 或 1 次 以 上 做 检 查 ， 污 染 很 厉 害 者 用 水 洗 ( 水 洗 式 ) 或 更 换 。 纤 维 质 滤 纲 如 有 破 损 者 应 换 新 。 [ 2 ] 终 端 过 滤 纲 ( F I N A L F I L T E R ) ( a )目 的 － － 按 无 尘 室 清 凈 度 条 件 之 要 求 过 滤 0.3μm 以 上 或 0.1μm 以 上 之 尘 粒 子 为 目 的 。 ( b )选 用 － － 按 使 用 目 的 考 虑 粒 径 ( P A R T I C L E S I Z E ) 无 尘 室 清 凈 度 、 维 护 管 理 、 压 力 损 失 等 各 条 件 选 定 H E P A F I L T E R 或 U L P A F I L T E R 。 ( C )管 理 － － 依 照 5. 5. 2. ( 风 速 ) 规 定 测 量 风 速 时 检 查 有 无 风 速 减 少 、 风 车 皮 带 松 弛 、 送 风 机 系 统 或 终 端 F I L T E R 装 配 迫 紧 ( P A C K I N G ) 之 松 弛 、 过 滤 纲 阻 塞 ， 查 其 原 因 并 调 整 之 。 填 垫 材 料 或 封 漏 材 料 老 化 时 会 产 生 空 气 泄 漏 ， 故 要 做 定 时 检 查 及 查 漏 工 作 。 依 据 5. 5. 6. [ 7 ] 方 法 做 终 端 过 滤 纲 之 查 漏 试 验 而 发 见 有 漏 之 地 方 应 用 S I L I C O N S E A L E R 补 漏 ， 如 由 填 垫 ( P A C K I N G ) 部 分 漏 时 应 锁 紧 螺 丝 或 换 新 填 料 ， 确 定 无 漏 为 止 。 装 设 过 滤 纲 后 每 年 最 少 2 次 检 查 F I L T E R 本 体 周 边 有 无 漏 出 污 染 空 气 。 发 现 阻 塞 很 厉 害 之 U L P A 或 H E P A F I L T E R 应 立 即 更 换 。5. 3. 2. 空 气 洗 尘 室 ( A I R S H O W E R ) [ 1 ] 目 的 － － 作 业 人 员 或 物 品 要 进 入 无 尘 室 以 前 先 以 经 过 H E P A F I L T E R 之 高 速 清 凈 空 气 将 附 着 于 人 体 ， 衣 服 或 物 品 表 面 之 污 染 物 吹 落 并 吸 收 之 设 备 。 [ 2 ] 选 用 － － 空 气 洗 尘 室 进 口 及 出 口 之 门 不 能 同 时 开 启 ， 同 时 规 定 时 间 之 空 气 吹 出 未 完 前 通 往 无 尘 室 之 门 不 能 开 启 ， 也 就 是 门 之 开 闭 要 自 动 式 或 电 磁 L O C K 式 。 但 逢 到 临 时 紧 急 情 况 时 也 能 随 意 打 开 者 。 根 据 对 人 及 对 物 之 各 别 用 途 或 每 次 使 用 之 人 数 而 决 定 采 用 之 大 小 或 型 式 ， 也 应 考 虑 到 预 备 室 ( 前 室 ) 与 无 尘 室 之 配 列 选 用 直 进 型 或 L 型 。[ 3 ] 管 理 遵 照 厂 商 供 给 之 使 用 手 册 ( M A N U A L ) 做 维 修 工 作 ， 惟 吹 出 口 ， 内 壁 及 底 板 须 每 天 清 扫 一 次 。 至 于 吹 出 风 速 及 空 气 清 凈 度 监 视 工 作 要 依 照 5. 5. ( 无 尘 室 监 视 工 作 ) 项 之 规 定 实 施 。5. 3. 3. 传 递 箱 ( P A S S B O X ) [ 1 ] 目 的 － － 当 物 品 ( 含 材 料 、 产 品 或 半 制 品 ) 进 入 无 尘 室 及 防 止 因 规 定 风 量 以 上 之 流 失 而 形 成 无 尘 室 内 风 压 之 降 下 之 装 置 。[ 2 ] 选 用 － － P A S S B O X 进 出 口 门 不 可 同 时 开 启 ， 应 装 有 连 锁 装 置 ( I N T E R L O C K S T S T E M ) 。 底 板 须 有 耐 磨 性 且 平 滑 而 不 产 生 尘 粒 为 原 则 。 开 闭 很 频 繁 时 应 装 设 附 有 H E P A F I L T E R 之 空 气 门 ( A I R C U R T A I N ) 以 防 止 外 气 之 侵 入 ， 同 时 限 制 无 尘 室 内 清 凈 空 气 之 流 出 外 面 。[ 3 ] 管 理 － － P A S S B O X 内 部 应 在 每 天 开 工 前 依 照 规 定 之 方 法 擦 拭 清 洁 。